全氟滤芯三级串联带推车过滤系统是一种将三个全氟滤芯串联连接并集成在移动推车上的过滤装置，主要用于高腐蚀性、高温或超纯液体的精密过滤，具备化学兼容性强、移动便捷、过滤精度高等特点。

核心构成与特点

• 全氟滤芯特性：

• 采用PTFE膜和PFA/PVDF骨架，耐受强酸、强碱及有机溶剂（除发烟硫酸等极少数试剂），适用温度范围宽（-100℃～260℃），过滤精度0.05μm～10μm，金属离子析出量极低（<25μg/10";）12。

• 适用于半导体湿法工艺、光刻胶过滤、超纯化学试剂等苛刻环境12。

• 三级串联设计：

• 三级串联指三个滤芯依次连接，形成多级过滤，逐步去除不同粒径杂质，提高过滤效率和滤芯寿命。例如，第一级粗过滤（1μm）拦截大颗粒，第二级中过滤（0.45μm）去除中等杂质，第三级精过滤（0.1μm）确保高纯度输出。

• 串联结构可定制精度组合（如1μm→0.45μm→0.1μm），适应复杂流体需求。

• 推车系统优势：

• 移动式不锈钢推车（通常304或316L材质）支持灵活部署，便于工厂内不同工位或临时过滤任务。推车集成进出口快装接头、压力表（0～1.0MPa）及万向轮（带刹车），操作便捷。

• 支持多台并联或串联，扩展性强，适用于小批量药液、工艺用水、腐蚀性液体的在线过滤。

应用场景与技术参数

• 典型应用：

• 半导体制造：超纯水、蚀刻液、光刻胶的终端过滤，防止颗粒污染晶圆2。

• 电子行业：高纯有机溶剂、液晶面板清洗液的精密过滤13。

• 制药与化工：强腐蚀性试剂、高温液体的移动过滤，符合GMP无菌要求。

• 技术参数：

• 流量：单台推车系统可达100L/min（具体取决于泵配置）。

• 压差：最大正向压差0.43MPa（25℃），支持高压过滤场景2。

• 连接方式：进出口尺寸DN20/DN25，快装卡箍或螺纹连接，适配主流管道。